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光伏和半導體都離不開它!聊聊我國硅片技術發展現狀,為何越先進的芯片硅片尺寸越大?

2022-11-22 來源:核芯產業觀察
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關鍵詞: 半導體 硅片 芯片

對于半導體硅片,相信大家都略有了解。今天我們就來聊聊我國在硅片制造技術上有何表現。不可否認的是,我國的硅片及芯片制造行業還有很長的路要走。


科技騰飛 后來居上的中國光伏

芯片制造只能用結構有序的單晶硅,但高純度多晶硅卻并非無用之物,較高純度的多晶硅可以用來制作太陽能電池板與相關組件,與之相關的行業正是我國領先全球的行業——光伏產業。

相較于歐美、日本等發達國家,中國是光伏產業的后來者,但中國卻用了十幾年的時間實現這一領域從培育期、成長期到成熟期的追趕和超越,不可不謂科技騰飛的典范。

目前,中國已經成為世界太陽能發電的龍頭,擁有全球最大光伏發電全產業鏈集群、最大應用市場、最大投資國、最多發明和應用專利和最大產品出口國等一系列桂冠。



在 2019 年,中國多晶硅產能占全球總產能的 69.2%,穩居世界第一。

我國光伏產業之所以能夠發展的如此迅速,離不開國家十多年來的政策扶持。

為了響應《巴黎協定》,我國提出了“碳中和”“碳達峰”的號召,而光伏發電正是綠色清潔能源的典范。在我國大力支持光伏產業的政策利好環境下,產業內的光伏發電迅速發展。

2013 年,全國光伏發電量僅為 91 億千瓦時,到 2019 年,全國光伏發電量已達 2238 億千瓦時,較 2018 年增長 26.08%。

到了 2020 年底,全國光伏發電量達到 2605 億千瓦時,較 2019 年增長 16.4%。

中國以實際行動向世界展示著大國風度。


稍顯低迷 受限于成本的芯片半導體行業

相較于光伏半導體行業的鼎盛,我國芯片半導體行業則稍顯低迷。半導體硅片作為半導體材料中成本占比最高的部分,在芯片產業鏈發揮著最關鍵的作用。

從成本占比來看,硅片在半導體材料中市場占比達到 37%,為第一大半導體材料。

從產業鏈地位來看,硅片作為半導體產業鏈的起點,直接影響芯片的制造質量,因此,硅片制造業有著舉足輕重的地位。

而硅片的應用與硅片尺寸密切相關。

12 英寸硅片通常用于集成電路先進制程,例如智能手機處理器、電腦的 CPU 和顯卡、人工智能、儲存芯片等高新領域。

8 英寸硅片主要制造電源管理器、MEMS、顯示驅動與指紋識別的芯片。無論是物聯網,還是汽車電子都需要它的技術支撐。

6 英寸硅片則主要涉及功率器件、分立器件等常用領域。

通過以上梳理,我們會發現,越是先進工藝的芯片,其所用的硅片尺寸也越大。



根據尺寸大小的不同,硅片可分為50mm(2英寸)、75mm(3英寸)、100mm(4英寸)、150mm(6英寸)、200mm(8英寸)及300mm(12英寸)。英寸為硅片的直徑,目前8英寸和12英寸硅片為市場最主流的產品。

8英寸硅片主要應用在90nm-0.25μm制程中,多用于傳感、安防領域和電動汽車的功率器件、模擬IC、指紋識別和顯示驅動等。12英寸硅片主要應用在90nm以下的制程中,主要用于邏輯芯片、儲存器和自動駕駛領域。“大尺寸”為硅片主流趨勢。硅片越大,單個產出的芯片數量越多,制造成本越低,因此硅片廠商不斷向大尺寸硅片進發。

硅片是芯片的起點,2021年全球半導體硅片市場規模達140億美元,行業高度集中,CR5市場份額接近90%。硅片是用量最大的半導體材料,90%以上的半導體產品使用硅片制造。

隨著5G、新能源、AIoT的快速滲透,2021年半導體行業迎來超級景氣周期,硅片需求持續旺盛,全球半導體硅片出貨面積達142億平方英寸,同比增長14%,市場規模達140億美元。半導體行業周期性波動導致硅片需求周期性波動,硅片行業并購整合不斷,行業競爭格局高度集中,前5大廠商市場份額接近90%。

硅片新增產能釋放需到2024年,短期供需有望持續偏緊,長期LTA有助穩量穩價。硅片擴產周期在2年以上,全球12英寸硅片在2020年之前主要依靠原有廠房進行產能擴充,新建廠房產能釋放的高峰將在2024年之后,2022和2023年全球12英寸硅片仍將處于供不應求的狀態。本次產能擴張,下游晶圓廠與硅片廠商積極綁定,通過長期合約保障供應鏈穩定。


為何芯片越先進所需硅片越大?

這并不是因為什么高深的原理,溯其根本,只有兩個字——成本。芯片是矩形,這是基于成本的考量。

由于從硅片上切割出圓形芯片并非易事,同時也會造成對邊角量的大量浪費,因而將芯片做成矩形,會使邊角量浪費最少。

晶圓是圓形,也是為了控制成本。經由直拉法(CZ 法)或懸浮區熔法(FZ 法)所制作出的硅棒是圓柱,圓形也最方便打磨,浪費最少。

另外,同對角線長度下圓形面積更大,無論怎么劃分大小,圓形最后分切出來的芯片一定比方形的多或相等。

圓形硅片還與后續的光刻等工藝不謀而合,而如果選擇方形,光刻膠旋涂的均勻性會成問題,易導致更多的浪費,在圓形硅片上做矩形芯片反而很“般配”。

當然,雖然已經非常節約,但硅片邊緣內側區域還是會存在浪費。

如何盡可能地減小浪費呢?這就需要用到高數知識——微積分。

只要晶圓足夠大,芯片足夠小,拼起來的邊緣就會逐漸向圓形逼近了,這就是數學的力量。

諸如電腦 CPU 這樣的芯片,每一枚的成本都不菲,廠商自然會選擇用一次流程制作足夠多的芯片的形式,以保證足夠的良品率。

如果選擇小尺寸硅片制作高端芯片,成本可以說是他們“無法承受之重”了。




國產大硅片發展現狀

半導體硅片是芯片制造最重要的材料,也是半導體產業的基石。而大硅片,通常指的是12英寸的硅片。而在摩爾定律的影響下,為了降低芯片成本,硅片越大越好,硅片直徑越大,在單片硅片上可生產的芯片數量就越多,邊緣損失的部分越小,單顆芯片的成本也就越低。

據2021年數據顯示,在全球硅片市場上,日本信越化學、環球晶圓、德國世創、日本勝高、韓國SK Siltron、Soitec這6大廠商拿走了全球92%左右的份額。

相比之下,中國大陸的硅片廠商市場份額較小,且主要以200mm(8英寸)及以下尺寸的硅片為主,很少有能夠生產300mm(12英寸)硅片的本土廠商,而7nm及以下先進制程芯片主要需求便是12英寸硅片。

而在國際市場中,12英寸硅片早已成為主流。據SEMI數據顯示,2019年,全球300mm硅片出貨面積占比已經達到67.22%。

直到2017年,張汝京博士創辦的上海新昇(現為滬硅產業子公司)首次實現12英寸硅片量產,打破了國際巨頭對大硅片的壟斷。如今,滬硅產業表示,其12英寸大硅片已可用于28nm制程的芯片制造。

數據顯示,2021年滬硅產業占全球份額僅為2.2%,而國內所有廠商合計占比也不超過5%。除了滬硅產業以外,還有如超硅半導體、中欣晶圓、奕斯偉、立昂微、中環股份等,都已經實現了300mm硅片的量產,而有研硅正在建設300mm硅片產線,這都是國內大硅片的中堅力量。

硅片本身技術難度極高,必須具備高標準的純凈度,硅片表面高度落差需要小于1nm,微顆粒小于1nm,雜質含量小于百億分之一,并且隨著制程的推進,對芯片缺陷密度、缺陷尺寸的容忍度也在不斷降低,未來質量要求也將更趨嚴格。在這種嚴苛的標準下,硅片越大,難度也在呈幾何倍上升。

好消息是,目前本土硅片廠商不僅為中芯國際、華虹、華力微、長江存儲等中國大陸廠商供貨,也走向了全球,包括臺積電、格羅方德、意法半導體、聯電等都已經有用到中國大陸廠商所生產的大硅片。

目前生產情況來看,數據顯示,滬硅集團300mm硅片產能為30萬片/月,中環股份為17萬片/月,立昂微為15萬片/月,中欣晶圓為20萬片/月,奕斯偉可達到50萬片/月。此外,還有媒體消息顯示,如超硅半導體的300mm硅片產業達到30萬片/月。

擴產情況上,有研硅顯示2020年底已經開建300mm硅片項目,已開工產能達到30萬片/月,而滬硅產業預計將新增30萬片/月的大硅片產能,預計在2024年投產。中環股份則計劃在2023年底實現60萬片/月的300mm硅片產能。奕斯偉的硅產業基地二期項目也正在建設當中。

因此,據不完全統計,當前國產300mm硅片產能合計已經超過了162萬片/月,隨著滬硅產業、中環股份、奕斯偉的廠商新產線的投產后,國產12英寸硅片產能將超過265萬片/月。

這波擴產浪潮一方面是由于國內市場需求旺盛所致,另一方面受到2020年下半年全球缺鋅影響,包括日本勝高、信越化學等硅片大廠紛紛漲價,讓國內的半導體產業鏈陷入被動。而隨著大陸硅片廠商的進入,讓國內產業鏈有了更多的主動權。




總結

中國從來就不是服輸的國家,自古以來流淌在中國人血脈中的精神是不懈拼搏。如今,硅片對中國而言,就像十幾年前的光伏對中國而言一樣,道阻且長。

十幾年前,我國的光伏產業同樣面臨的發展難題,但十幾年后的今天,我國已然成為世界太陽能發電的龍頭,擁有全球最大的光伏產業群。

我們可以大膽的暢想一番,如今中國光伏在全球的占比怎樣,那么十幾年后的中國硅片在全球范圍內的影響又將如何呢?讓我們拭目以待吧。



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