日本富士膠片或啟動EUV光刻膠業(yè)務(wù)，希望在2024年之前獲得10%市占

1月8日消息，有報道指出，日本富士膠片已正式啟動 EUV光刻膠業(yè)務(wù)，目標在2024年之前獲得全球的10%市占。

富士膠片在生產(chǎn)據(jù)點導(dǎo)入高準確度的質(zhì)量檢查設(shè)備等，目前已經(jīng)展開樣品出貨，計劃最快在 2021 年的前半開始量產(chǎn)。由于 AI 人工智能、IoT 物聯(lián)網(wǎng)以及 5G 通訊的普及，半導(dǎo)體制程也朝著細微化進展。此外，應(yīng)用 EUV 的光刻技術(shù)，也預(yù)估需求量將有所增長。

富士膠片子公司、從事半導(dǎo)體材料業(yè)務(wù)的富士電子材料公司 (FFEM)，在日本靜岡工廠全新投資約 15 億日圓（約人民幣9424萬元），安裝了最先進 EUV 制程用途的半導(dǎo)體材料質(zhì)量評估設(shè)備。期盼藉著最先進檢查設(shè)備的導(dǎo)入，來提升質(zhì)量并確保供貨穩(wěn)定，要與競爭對手的產(chǎn)品作出區(qū)隔，盼能獲得廠商采用。

富士電子材料公司為了研發(fā)生產(chǎn) EUV 光刻膠，包含這回導(dǎo)入的檢查設(shè)備在內(nèi)，一共投資了 45 億日圓（約人民幣2.8億）。該公司生產(chǎn) ArF 光刻膠的經(jīng)驗，也有助于新產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)。而在目前，日本生產(chǎn) EUV 光刻膠的廠商，有著名的信越化學(xué)工業(yè)等公司。

富士膠片位在美國的據(jù)點，有進行化學(xué)機械研磨液 (CMP Slurry) 的研發(fā)生產(chǎn)。為了提升顯影液純度，該公司也從 2018 年 12 月起的三年時間，進行 100 億日圓（約人民幣6.2億元）的投資，要強化半導(dǎo)體材料的競爭力。而在疫情影響下，遠距工作的普及等，都使得半導(dǎo)體材料需求看旺。