特別是EUV光刻機(jī)，目前全球僅ASML一家能夠制造，很多人稱EUV光刻機(jī)是人類建造的最復(fù)雜的機(jī)器之一，所以ASML也被很多人奉上“神壇”，甚至還傳出“給你全套圖紙，你也造不出光刻機(jī)”的說法。
但要我說，ASML其實(shí)也只是一個(gè)組裝廠，它是整合全球的供應(yīng)鏈，最后將什么EUV光刻機(jī)組裝了出來，你會(huì)怎么想？
EUV光刻機(jī)的原理是什么？說起來超級(jí)簡(jiǎn)單，就是激光器激發(fā)出13.5nm波長(zhǎng)的極紫外線，然后經(jīng)過矯正后形成一束可控的光，再用能量控制器，將這一束光投射到光掩膜臺(tái)后，再經(jīng)過物鏡投射到曝光臺(tái)，最后在涂了光刻膠的硅晶圓上蝕刻出電路。
一臺(tái)EUV光刻機(jī)有三項(xiàng)核心技術(shù)，分別是頂級(jí)的光源(激光系統(tǒng))、高精度的鏡頭(物鏡系統(tǒng))、精密儀器制造技術(shù)(工作臺(tái))。
激光系統(tǒng)就是產(chǎn)生極紫外線的系統(tǒng)，這項(xiàng)技術(shù)來源于美國企業(yè)Cymer，2012年被ASML收購了。
高精度的鏡頭，也就是將激光進(jìn)行收集成束，以及物鏡系統(tǒng)，這一塊的技術(shù)來源德國的蔡司，蔡司拿出了全世界最平表現(xiàn)的元件，那就是分布式布拉格反射器。
第三項(xiàng)核心技術(shù)，也就是精密儀器制造技術(shù)，也來自于德國，甚至連核心一中的整體打包方案都是德國TRUMPF公司提供的。
按照媒體的說法，一臺(tái)EUV光刻機(jī)中，超過10萬個(gè)零件，其中ASML只掌握了不到10%的核心技術(shù)，另外的90%全靠ASML全球去整合資源，甚至需要全球進(jìn)口。
ASML最大的能力是了解客戶需求，整合供應(yīng)鏈，最后把光刻機(jī)組裝出來，這一特質(zhì)，在當(dāng)時(shí)ASML與臺(tái)積電合作，全球首造浸潤(rùn)式光刻機(jī)時(shí)就注定了的。
當(dāng)時(shí)，尼康、佳能是光刻機(jī)大哥，ASML只是小廠，臺(tái)積電提出可以用水做介質(zhì)，尼康、佳能傲慢自大，認(rèn)為這是個(gè)餿主意，而ASML是小廠，看不到希望，干脆搏一搏，說不定單車變摩托，最后這一搏，搏出來了ASML的未來。
所以ASML嘗到了甜頭后，認(rèn)清了現(xiàn)實(shí)，那就是自己最重要的就是看各大晶圓廠需要什么樣的東西，然后再全球找供應(yīng)鏈，再和客戶一起研究試驗(yàn)，把客戶需要的東西組裝出來。
而不是自己苦哈哈的埋頭做研究，最后發(fā)現(xiàn)這研究出來的玩意，客戶不需要，那才是研發(fā)的失敗，這是ASML的長(zhǎng)處，也是芯片行業(yè)的叢林法則，那就是攢局，將各大利集團(tuán)捆綁在一起，才是核心。
