眾所周知，美國(guó)為了鎖死中國(guó)的邏輯芯片制程在14nm，聯(lián)手尼康、佳能，ASML三家光刻機(jī)巨頭，一起對(duì)先進(jìn)光刻機(jī)進(jìn)行禁運(yùn)。
而能夠生產(chǎn)14nm及以下芯片的光刻機(jī)有兩種，一種是EUV光刻機(jī)，一種是高端的DUV光刻機(jī)，也就是浸潤(rùn)式光刻機(jī)（ArFi光刻機(jī)）。
由于DUV光刻機(jī)中的浸潤(rùn)式光刻機(jī)分很多種型號(hào)，有些只能生產(chǎn)14nm以上工藝，有些能夠生產(chǎn)最高7nm工藝。所以浸潤(rùn)式光刻機(jī)，究竟能不能賣給中國(guó)，哪些能夠賣，哪些不能賣，就成為了大家最關(guān)注的問題。
特別是中芯京城項(xiàng)目，因瓶頸機(jī)臺(tái)未交付，而造成投產(chǎn)延期更是牽動(dòng)大家的心，因?yàn)楹苊黠@這個(gè)瓶頸機(jī)臺(tái)，很可能就是光刻機(jī)。
而近日，荷蘭光刻機(jī)大廠ASML通過官網(wǎng)發(fā)布了《關(guān)于額外出口管制的聲明》，其中對(duì)光刻機(jī)出口進(jìn)行了補(bǔ)充說明，算是塵埃落定了。
ASML表示，出口管制并不涉及所有浸潤(rùn)式光刻機(jī)，只涉及到“最先進(jìn)”的光刻機(jī)。什么是最先進(jìn)的浸潤(rùn)式光刻機(jī)？ASML認(rèn)為是TWINSCAN NXT：2000i及之后的浸沒式光刻系統(tǒng)。
滋潤(rùn)式光刻機(jī)到底有多少種？ASML目前在售的主要有三種，按照其先進(jìn)程度，分別為TWINSCAN NXT:1980Di，TWINSCAN NXT:2000i ，TWINSCAN NXT:2050i，越后面的越先進(jìn)。
那么就很明顯了，這三種高端的DUV光刻機(jī)中，只能出口一種浸潤(rùn)式光刻機(jī)，那就是TWINSCAN NXT:1980Di，也就是相對(duì)最落后的那一種，其它兩種，由于太先進(jìn)了，所以是不能出口到中國(guó)來的，至于比浸潤(rùn)式光刻機(jī)更先進(jìn)的EUV就更加不要說了，不可能出口了。
那么問題來了， 這一臺(tái)TWINSCAN NXT:1980Di光刻機(jī)，能生產(chǎn)多少納米的芯片？
如上圖所示，這是ASML官網(wǎng)上關(guān)于這一臺(tái)TWINSCAN NXT:1980Di的介紹，其中在分辨率方面，寫到是大于等于38nm。
那么意思就是只能生產(chǎn)38nm工藝的芯片么？其實(shí)并不是的，是指一次曝光的分辨率，事實(shí)上光刻機(jī)是可以進(jìn)行多次曝光的。理論上依然可以達(dá)到7nm，只是步驟更為復(fù)雜，成本更高，良率可能也會(huì)有損失，晶圓廠用這一臺(tái)光刻機(jī)，大多是生產(chǎn)14nm及以上工藝的芯片，很少去生產(chǎn)14nm以下的工藝，因?yàn)榱悸实停杀靖撸瑳]什么競(jìng)爭(zhēng)力。
但可以肯定的是，用這一臺(tái)TWINSCAN NXT:1980Di光刻機(jī)，生產(chǎn)28nm、14nm是不成問題的，國(guó)內(nèi)成熟工藝的擴(kuò)產(chǎn)，接下來不會(huì)有什么影響，只是在先進(jìn)工藝方面，還是有困難，這也算是壞消息中的一個(gè)好消息？
