華為投資的企業,不需要光刻機,用納米壓印技術造10nm芯片
眾所周知,目前的芯片制造技術,均是以光刻技術為基礎的。
所有的晶圓廠制造芯片時,均是先將電路圖,刻在光掩膜板上,然后再利用光刻機的光線去照射,最后把這些電路圖投影涂了光刻膠的硅晶圓上,形成電路圖。
光刻機是其中必不可少設備,且是單價最貴的設備,同時光刻工序耗時最長。
更重要的是,光刻機全球就只有4家,分別是ASML、尼康、佳能、上海微電子。而其中浸潤式光刻機,只有尼康、ASML能制造,而EUV光刻機只有ASML能制造。
所以說ASML卡住了全球芯片廠商的脖子,所以大家也都在想另外的路線,如何繞開光刻機,采用其它方法來制造芯片,改變這種格局。
經過科學家們的研究,目前提出了很多方法,比如DSA自生長技術,還有BLE電子束光刻技術,還有X射線光刻技術,還有NIL納米壓印技術。
其中NIL納米壓印技術,被認為是最有潛力,最能夠替代光刻的一種芯片制造技術。
光刻技術采用的是光線投影,而NIL納米壓印技術,類似于蓋章一樣,先把電路圖刻在一個特殊的“印章”上,然后再將這個印章直接印到晶圓上,就形成了電路圖。
相比于光刻技術,這種技術成本更低、工序簡單,更容易批量操作的特點,所以被眾多廠商青睞,也被大家研究。
其中日本的佳能研究最深,申請的專利最多,還推出了相關的納米壓印技術,目前也用于存儲芯片的制造。
納米壓印的難點是如何制造最高精度的“印章”,畢竟現在的芯片都是納米級的,要刻一個這樣的“印章”出來比較難,佳能的目標是在2025年實現5nm芯片的制造。
而國內也有在納米壓印技術上,表現出色的企業,它就是華為哈勃投資青睞的天仁微納。
它成立于2015年,是一家微納加工設備和解決方案提供商,公司專注于納米加工領域,尤其是納米壓印技術。
目前天仁微納已經研發出了多款高精度紫外納米壓印設備。據官網資料顯示,他們的納米壓印設備,已經可以在150/300mm基底面積上實現高精度(優于10nm ),也說是說實際精度已經達到了10nm級別。
而目前這些設備,也用于DOE、AR/VR衍射光波導(包括斜齒光柵)、線光柵偏振、超透鏡、生物芯片、LED、微透鏡陣列等應用領域的量產。
雖然說,目前這種設備,并沒有用于大家最為熟悉的邏輯芯片、存儲芯片等,但相信也不太遠了。
既然佳能能夠在2025年實現5nm工藝,想必天仁微納也不會太落后,你覺得呢?
而一旦國產廠商,能夠不用光刻機,就實現10nm、甚至7nm、5nm的芯片制造,那么美國的芯片禁令就不攻自破了,再也限制不住了我們了。
所以讓我們拭目以待一下,看看國產納米壓印技術,會不會比國產光刻機技術,更早突破14nm、10nm等,這可是改變全球芯片格局的大事。
