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如果中國研發(fā)出28nm光刻機(jī),美國的芯片禁令,將被瓦解

2023-08-04 來源:互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀
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關(guān)鍵詞: 光刻機(jī) 芯片 中芯國際

近日,有媒體報(bào)道稱,國產(chǎn)28nm光刻機(jī)即將制造出來,并且是浸潤式光刻機(jī)。


一時(shí)之間,網(wǎng)友們沸騰了,因?yàn)檫@個(gè)消息實(shí)在太震撼了,要知道目前光刻機(jī)已經(jīng)是國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)鏈中,最短的短板了。


而美國針對(duì)中國的禁令,也是以光刻機(jī)為主,卡住14nm及以下的光刻機(jī)及所有先進(jìn)設(shè)備。



而浸潤式光刻機(jī),雖然也屬于DUV光刻機(jī)的一種,經(jīng)多重曝光之后,卻最高可以生產(chǎn)7nm的芯片,你說讓不讓人激動(dòng)?讓不讓沸騰?


幾年前,中芯國際的梁孟松就表示,7nm芯片研發(fā)已經(jīng)準(zhǔn)備好,只等光刻機(jī),如今假如有了28nm的光刻機(jī),這一切不是迎刃而解了么?


可以說,有了這臺(tái)28nm的光刻機(jī),那么美國的芯片禁令,都會(huì)因此而瓦解,因?yàn)樵籴槍?duì)14nm工藝,可能都沒什么意義了。



當(dāng)然,這則消息的真假未知,可能是真的,也可能是假的。


為何這么說?我們知道光刻機(jī)有三大件,分別是光源系統(tǒng)、物鏡系統(tǒng)、工作臺(tái)。


DUV光刻機(jī)的光源系統(tǒng)是一樣的,都是采用193nm的紫外線,這一塊,中國已經(jīng)掌握了技術(shù),因?yàn)?0nm的光刻機(jī),與28nm的光刻機(jī),光源系統(tǒng)區(qū)別不是特別大。


工作臺(tái)這一塊,其實(shí)差別也不大,目前國內(nèi)的華卓精科有雙工作臺(tái)技術(shù),也被國產(chǎn)光刻機(jī)使用。



物鏡系統(tǒng)就差別大了,物鏡系統(tǒng)是指收集光線,使其具有可控的方向性,同時(shí)將這些光線,按照要求,投射到工作臺(tái)上。


浸潤式光刻機(jī),要在晶圓上方加一層水,然后193nm的光線,經(jīng)過水的折射后,變成等效134nm波長,所以物鏡系統(tǒng)與干式光刻機(jī)不一樣。


浸潤式光刻機(jī)的物鏡系統(tǒng)非常復(fù)雜,甚至可以說是光刻機(jī)中最昂貴最復(fù)雜的部件之一,涵蓋了光學(xué)、機(jī)械、計(jì)算機(jī)、電子學(xué)等多個(gè)學(xué)科領(lǐng)域最前沿。



而目前能夠制造浸潤式光刻機(jī)的廠商,就兩家,一家是ASML,一家是尼康。目前能夠制造浸潤式光刻機(jī)物鏡系統(tǒng)的,全球僅一家,那就是蔡司。


而ASML和尼康這兩家的浸潤式物鏡系統(tǒng)來源,均是蔡司。按照媒體的說法,浸潤式光刻機(jī)不僅要控制物鏡波像差,更要全面控制物鏡系統(tǒng)的偏振像差,全球僅有蔡司有這技術(shù)。


而蔡司與ASML關(guān)于物鏡系統(tǒng)是合作研發(fā),雙方有協(xié)議的,蔡司不能將這些技術(shù),提供給ASML不允許的任何第三方廠商,而尼康獲得這個(gè)技術(shù)是ASML許可的。



所以國產(chǎn)光刻機(jī)廠商,能不能掌握這個(gè)浸潤式光刻機(jī)的鏡鏡系統(tǒng),很多網(wǎng)友是持懷疑態(tài)度的,覺得可能消息是假。


但現(xiàn)在已經(jīng)是8月份了,離年底也就4個(gè)多月時(shí)間,那么就讓我們拭目以待吧,如果真的28nm光刻機(jī)制造出來,芯片禁令就不用怕了。



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