上海微系統(tǒng)所成功制備國內(nèi)首片300mm SOI晶圓，實現(xiàn)技術(shù)突破

近日，中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)所魏星研究員團隊在300mm SOI晶圓制造技術(shù)方面取得突破性進展，成功制備出國內(nèi)首片300mm射頻（RF）SOI晶圓。這一成果標(biāo)志著我國在SOI晶圓制造技術(shù)方面取得了重大突破，為提升我國集成電路產(chǎn)業(yè)的核心競爭力奠定了堅實基礎(chǔ)。

SOI（Silicon On Insulator，絕緣體上硅）晶圓是一種具有優(yōu)異性能的半導(dǎo)體材料，廣泛應(yīng)用于射頻、功率、高壓等集成電路領(lǐng)域。然而，由于SOI晶圓制造技術(shù)難度較高，長期以來我國一直依賴進口。此次上海微系統(tǒng)所成功制備出國內(nèi)首片300mm射頻（RF）SOI晶圓，打破了國外技術(shù)壟斷，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入了新的動力。

據(jù)了解，魏星研究員團隊在制備過程中解決了多項核心技術(shù)難題。首先，團隊攻克了低氧高阻晶體制備技術(shù)，通過優(yōu)化工藝參數(shù)和提高設(shè)備精度，實現(xiàn)了晶體制備的高效率和高質(zhì)量。其次，團隊掌握了低應(yīng)力高電阻率多晶硅薄膜沉積技術(shù)，確保了薄膜的均勻性和穩(wěn)定性。最后，團隊創(chuàng)新采用了非接觸式平坦化技術(shù)，提高了晶圓表面的平整度和光滑度。

此次制備成功的300mm射頻（RF）SOI晶圓具有優(yōu)異的性能表現(xiàn)。首先，該晶圓具有高電阻率、低損耗和高頻率特性，適用于射頻電路的應(yīng)用。其次，晶圓表面平整光滑，有利于提高集成電路的可靠性和穩(wěn)定性。此外，該晶圓的成功制備還為后續(xù)工藝提供了更好的平臺，有望推動我國集成電路制造工藝的進一步提升。

上海微系統(tǒng)所此次突破性的成果對我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要意義。一方面，這一成果打破了國外技術(shù)壟斷，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)提供了自主可控的技術(shù)支持。另一方面，這一突破有望帶動我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的完善和發(fā)展，提高我國在全球集成電路產(chǎn)業(yè)中的競爭力。

總之，上海微系統(tǒng)所成功制備國內(nèi)首片300mm射頻（RF）SOI晶圓，實現(xiàn)了我國在SOI晶圓制造技術(shù)方面的重大突破。這一成果為我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展注入了新的動力，有望推動我國在全球集成電路產(chǎn)業(yè)中取得更加輝煌的成績。