亚洲国产综合精品一区,综合伊人久久在,久久高清内射无套,天堂√在线中文官网在线,亚洲—本道中文字幕东京热,亚洲高清专区日韩精品,超碰免费公开,国内免费久久久久久久久
歡迎訪問深圳市中小企業公共服務平臺電子信息窗口

國產光刻機,只差最后一項技術,就要搞定浸潤式,實現7nm了?

2023-11-28 來源:科技專家
1725

關鍵詞: 臺積電 三星 芯片

實話實說,對于中國大陸的芯片制造產業而言,目前的首要任務肯定不是像臺積電、三星一樣搞定3nm,而是腳踏實地,先把14nm、7nm產業鏈實現全部國產化。


然后再用利14nm、7nm這樣相對先進的工藝,制造出5nm、3nm這樣性能的芯片出來,畢竟EUV光刻機買不到,我們要進入5nm確實很困難。



不過,要實現14nm、7nm芯片的全部國產化,也有一個大困難,那就是國產光刻機。


普通的ArF光刻機,最高支持的工藝是65nm,只有進入浸潤式光刻機,也就是ArFi光刻機,最高才能支持到7nm這個級別,所以要想14nm、7nm芯片全國產化,浸潤式光刻機必須國產化。



那么問題來了,浸潤式光刻機國產化,我們還差多少步?


浸潤式光刻機,與普通的非浸潤式ArF光刻機相比,主要在于在晶圓上方,會加入一層水,而深紫光線光源,經過這一層水的折射時,波長193nm會變成134nm,從而提高光刻精度。


而控制這層水的系統的叫做浸潤式系統。其它的結構,與普通的非浸潤式光刻機相同。



而普通的非浸潤式光刻機,主要由三大關鍵部分組成,光源系統、物鏡系統、工作臺。


光源系統采用的是193nm波長的深紫外線,這一塊上海微電子目前實現的光刻機,采用的就是193nm波長的光源,所以光源系統已經搞定。


再看物鏡系統,這一塊是當前光刻機的難點,因為ASML與卡爾蔡司獨家合作,目前國產的物鏡系統還在90nm,但有媒體報道稱,長春光電所已經搞定了32nm,但離浸潤式光刻機的要求,還有一點距離。



接著看工作臺,這里并不是特別難,清華大學與華卓精科合作,推出的雙工作臺已經實現了10nm精度的控制,所以用于浸潤式光刻機,基本上也沒問題了。


至于浸潤式系統這一塊,主要由控制軟件、液態傳感器、控制器等組成,之前有媒體報道稱啟爾機電在浸液控制系統上取得了重大突破,可以用于浸潤式光刻機了。


可見,真正卡住的只有物鏡系統了,一旦物鏡系統突破,那么國產浸潤式光刻機就能夠搞定了,那么實現最高7nm芯片的全國產化,也就不那么困難了。


至于國產EUV光刻機,那就物鏡系統、工作臺、EUV光源都要解決,所以大家先別急,等浸潤式光刻機實現國產化再說,路得一步一步走。



主站蜘蛛池模板: 无码日韩av一区二区三区| 夜夜添狠狠添高潮出水| 无码专区中文字幕无码野外| 男女做爰猛烈啪啪吃奶动| 人妻无码系列一区二区三区| 亚洲人成人77777网站| 九九视频免费精品视频| 免费看国产曰批40分钟| 动漫精品视频一区二区三区| 四虎影库久免费视频| 在线天堂资源www在线中文| 欧美最猛性xxxxx大叫| 国产精品青草久久久久福利99| 国产精品久久久久久亚洲影视 | 久久丫免费无码一区二区| 亚洲人成人77777网站| 亚洲色偷偷色噜噜狠狠99网| 久久不见久久见免费影院| 狂野欧美性猛交xxxx| 初尝黑人嗷嗷叫中文字幕| 亚洲最大av资源站无码av网址| 欧美丰满熟妇xxxx| 无码专区一va亚洲v专区在线| 看国产一毛片在线看手机看| 亚洲女同一区二区| 欧美丰满熟妇xxxx| 中文字幕乱码人妻二区三区| 亚洲欧美日本韩国| 亚洲综合无码一区二区三区不卡| 小雪尝禁果又粗又大的视频| 国产成人综合美国十次| 牛牛在线视频| 亚洲爆乳精品无码一区二区三区| 久久久久琪琪去精品色无码| 亚洲全国最大的人成网站| 日本狂喷奶水在线播放212| 国产亚洲精品久久久久秋| 狠狠色婷婷丁香综合久久| 插插插精品亚洲一区| 欧美又大粗又爽又黄大片视频| 无遮挡啪啪摇乳动态图gif|