ASML確認，低端浸潤式DUV光刻機，出口也受到限制了

2024年一開始，ASML就發公告稱，有兩個許可證被吊銷，分別是NXT:2050i和NXT:2100i光刻系統的許可證，ASML稱，這影響到了少數中國客戶。

當時這個消息發出來后，很多人不以為然，稱目前ASML在售的浸潤式DUV光刻機有多款，只是最新的兩款受限而已，還有NXT:2000i、NXT：1980Di等可以賣。

而這4款光刻機，其實分辨率差不多，都能實現至少7nm，甚至5nm，區別只是生產效率而已，所以不用太過于擔心。

不過，近日，ASML正式確認，不只是NXT:2050i和NXT:2100i，低端浸潤式DUV光刻機，也受到限制了。

ASML表示稱，“個別中國先進芯片制造晶圓廠將無法獲得發運NXT:1970i 和 NXT:1980Di 浸沒式DUV設備的許可證。”

這個“個別晶圓廠”是誰，估計不用我多說了吧，被列入美國“實體清單”的中國晶圓廠，大家都心里有數的。

事實上，在2023年10月，美國升級的禁令中，關于光刻機的指標，相比上一年，就有了更為嚴格的規定。

2022年10月份時，美國的具體要求是，光刻機如果采用193nm波長的光源，且分辨率小于45nm時，其光刻機套刻精度的DCO值小于1.5nm時， 不準出口，不在這個范圍內的可以出口。

2023年10月份時，禁令升級了，193nm波長的光泊，且分辨率小于45nm時，如果其DCO值小于2.4nm時，就不能出口了，DCO值要求更嚴了。

而NXT:1970i/NXT:1980Di，采用193nm波長，分辨率是小于等于38nm， DCO值為1.6nm，所以其DCO值是大于1.5nm，又小于2.4nm的。

在2022年10月份的禁令之下，能夠出口。但在2023年10月份的禁令之下，就無法出口了。

這也是為何ASML這次說明，對個別中國晶圓廠，無法出口NXT:1970i 和 NXT:1980i的原因。

按照這個政策的話，如果ASML不針對中國市場，對光刻機進行調整的話，那么這個“個別的的中國晶圓廠”，只能從ASML購得2013年首次出貨的NXT:1965Ci型號光刻系統了。

不過，大家也不必太過于擔心，2023年，中國企業從ASML采購了500億元的光刻機，足夠使用好幾年，就算暫時買不到，至少最近幾年內也不會缺少浸潤式DUV光刻機，真正的困難是在幾年之后，就看國產光刻機，到時候能不能頂上來了。