中電科200mm拋光設(shè)備已進(jìn)入中芯國際、臺(tái)積電等國內(nèi)大線

7月9日消息，中電科電子裝備集團(tuán)有限公司發(fā)布多項(xiàng)半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化產(chǎn)品，為國內(nèi)外芯片制造企業(yè)提供一站式解決方案。

集成電路產(chǎn)業(yè)鏈較長(zhǎng)，離子注入位于產(chǎn)業(yè)鏈前端，先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的集成電路芯片通常需要70多道注入工序。為了讓硅片具有特定的導(dǎo)電性能，就要向這種材料注入各種元素。“這就像做蛋糕，往里面添加芝麻、慕斯等食材，可以讓蛋糕更具風(fēng)味。”中電科電子裝備集團(tuán)有限公司戰(zhàn)略計(jì)劃部主任李進(jìn)描述離子注入機(jī)的作用。

而此次中國電子科技集團(tuán)突破高性能離子源、高速晶圓傳輸?shù)群诵募夹g(shù)，自主研制出中束流、大束流、高能等離子注入機(jī)，工藝段覆蓋至28納米，形成了全譜系離子注入的一站式解決方案，讓注入離子的效率大大提高。因此，離子注入機(jī)具有很高的科技含量。

據(jù)介紹，離子注入機(jī)對(duì)潔凈度要求很高。在芯片制造過程中，通常有70多道離子注入工序，如果每道工序都有雜質(zhì)顆粒污染，產(chǎn)品質(zhì)量就難以達(dá)標(biāo)。因此，這種裝備的注入能量要控制得很精準(zhǔn)，還要在很多工藝技術(shù)上精益求精。

除此之外，在國產(chǎn)化設(shè)備研發(fā)方面，中國電子科技集團(tuán)還發(fā)布了國產(chǎn)化化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備，作為集成電路制造核心裝備之一，化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備是銅互聯(lián)工藝不可或缺的設(shè)備。其中，200mm拋光設(shè)備已經(jīng)進(jìn)入到中芯國際、華虹宏力、臺(tái)積電、聯(lián)電等國內(nèi)大線，被中芯國際譽(yù)為“唯一置換率100%的國產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)商”。并且，中國電子科技集團(tuán)自主研發(fā)的濕法設(shè)備和先進(jìn)封裝設(shè)備也取得了多項(xiàng)突破。多年來，利用雄厚的科研技術(shù)和人才優(yōu)勢(shì)，中國電子科技集團(tuán)攻克了數(shù)百項(xiàng)集成電路制造裝備關(guān)鍵技術(shù)，支撐了半導(dǎo)體和新興電子元器件產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，為國內(nèi)外用戶提供了1萬多臺(tái)（套）電子制造裝備。

作為北京經(jīng)開區(qū)“十四五”期間聚焦國家戰(zhàn)略的代表，為增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新鏈自主可控能力，中國電子科技集團(tuán)持續(xù)圍繞北京市“三城一區(qū)”的發(fā)展布局以及中國電科在北京的“南強(qiáng)裝備”業(yè)務(wù)布局，踐行國家使命，擔(dān)當(dāng)央企責(zé)任，聚焦北京亦莊，圍繞光刻機(jī)、離子注入機(jī)、CMP、濕法設(shè)備、先進(jìn)封裝等集成電路核心裝備業(yè)務(wù)，形成“一總部一院一中心一基地”的布局。