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ASML首臺全新極紫外光刻機已交貨

2021-07-22 來源:科創(chuàng)板日報
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22日訊,荷蘭光刻機設備生產商阿斯麥(ASML)此前公布了 2021 年第二季度財報。此外,ASML方面表示,EUV (極紫外光) 光刻業(yè)務: 第一臺NXE:3600D已出貨給客戶。相較于前一代產品,NXE:3600D的生產力提高15%到20%,且套刻精度(overlay)也提高 30%。ASML正增加EUV在存儲產業(yè)的量產應用,并將計劃協(xié)助三個 DRAM 客戶實現(xiàn)在未來的制程節(jié)點中導入EUV。



ASML 正努力增加 EUV 在存儲產業(yè)的量產應用,并將計劃協(xié)助三個 DRAM 客戶實現(xiàn)在未來的制程節(jié)點中導入 EUV。在其 DUV 業(yè)務中,TWINSCAN NXT:2000i(一種 ArFi 浸入式系統(tǒng))創(chuàng)下了單日在客戶處曝光 6,300 多片晶圓的記錄。



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