晶瑞電材：三大高純濕化學(xué)品即將貢獻(xiàn)營收，ArF光刻膠研發(fā)“猛砸”4個億

中國半導(dǎo)體材料市場一直穩(wěn)步成長，已在2020年成為全球第二大半導(dǎo)體材料市場，SEMI（國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會）預(yù)計，中國將在2021年維持這一市場地位。

SEMI數(shù)據(jù)顯示，2019年中國半導(dǎo)體材料市場增長為3.4%至87.2億美元，2020年增長12%至97.6億美元，市場規(guī)模創(chuàng)歷史新高。

具體來看，半導(dǎo)體材料主要分為晶圓制造材料和封裝材料兩大類，晶圓制造材料主要分為硅片及硅基材料、光掩模版、電子氣體、光刻膠及試劑、CMP拋光材料、工藝化學(xué)品、靶材及其他。

SEMI最新報告顯示，2020年，晶圓制造材料市場規(guī)模為349億美元，較2019年增長6.5%，約占半導(dǎo)體材料整體規(guī)模的63%，其中光刻膠及試劑、工藝化學(xué)品和CMP拋光材料增長最為強(qiáng)勁。

Cision預(yù)測，2022年全球光刻膠市場規(guī)模有望達(dá)到105億美元，年均復(fù)合增速5%。10月19日，第一財經(jīng)國內(nèi)光刻膠龍頭企業(yè)晶瑞電材，就公司光刻膠等電子材料業(yè)務(wù)的發(fā)展規(guī)劃等內(nèi)容進(jìn)行對話。

光刻膠：放量才是關(guān)鍵

晶瑞電材主導(dǎo)產(chǎn)品包括光刻膠及配套材料、超凈高純試劑、鋰電池材料和基礎(chǔ)化工材料等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、新能源、基礎(chǔ)化工等行業(yè)，主要應(yīng)用到下游電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程的清洗、光刻、顯影、蝕刻、去膜、漿料制備等工藝環(huán)節(jié)。

分行業(yè)看，2021年上半年，晶瑞電材在半導(dǎo)體行業(yè)、新能源行業(yè)和基礎(chǔ)化工行業(yè)的營收占比分別為35.11%、35.28%、19.68%，毛利率水平分別為24.80%、14.75%、19.99%。其中新能源行業(yè)和基礎(chǔ)化工行業(yè)的營收同比大幅增長，漲幅分別達(dá)到133.99%和174.51%。

晶瑞電材在新能源行業(yè)的主要產(chǎn)品為鋰電池材料。晶瑞電材董秘陳萬鵬在接受第一財經(jīng)采訪時表示，“半導(dǎo)體行業(yè)的營收放量、市場份額的提升正在發(fā)生確定性的上漲，同時這是一個逐步從產(chǎn)品種類、數(shù)量再細(xì)化到客戶每一條芯片產(chǎn)線的積累的過程，而新能源汽車的需求爆發(fā)驚人，所以預(yù)計未來新能源行業(yè)的營收增長仍將快于半導(dǎo)體行業(yè)。但我們發(fā)展的重心和投入還是在半導(dǎo)體上。”

半導(dǎo)體方面，晶瑞電材主要產(chǎn)品包括光刻膠及配套材料、超凈高純試劑。其中，光刻膠產(chǎn)品由晶瑞電材的子公司蘇州瑞紅生產(chǎn)。

蘇州瑞紅1993年開始光刻膠生產(chǎn)，承擔(dān)并完成了國家02專項“i線光刻膠產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目。公司i線光刻膠已向國內(nèi)知名大尺寸半導(dǎo)體廠商供貨，KrF（248nm深紫外）光刻膠完成中試，產(chǎn)品分辨率達(dá)到了0.25～0.13m的技術(shù)要求，建成了中試示范線。

“KrF光刻膠目前正在客戶驗證階段。我們已經(jīng)在規(guī)劃KrF光刻膠產(chǎn)線了，受現(xiàn)有場地限制，計劃把我們原來的一個倉庫直接改建成生產(chǎn)線，預(yù)計還將新添一臺光刻機(jī)。”陳萬鵬對第一財經(jīng)透露。

陳萬鵬解釋稱，光刻機(jī)不僅用在研發(fā)過程中，在生產(chǎn)過程中也會用到光刻機(jī)，光刻膠出廠前必須100%全檢，以滿足IC制造的高標(biāo)準(zhǔn)要求，所以KrF光刻膠也需要配備一臺光刻機(jī)。“預(yù)計今年或明年上半年KrF光刻膠能夠出貨。”

晶瑞電材2020年年報顯示，公司于2020年下半年購買ASML1900Gi型光刻機(jī)設(shè)備，ArF高端光刻膠研發(fā)工作正式啟動，旨在研發(fā)滿足90-28nm芯片制程的ArF(193nm)光刻膠，滿足當(dāng)前集成電路產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵材料市場需求。

“ArF光刻膠今年的主要任務(wù)一方面是在研發(fā)上，開發(fā)單體及樹脂等上游材料、反向分析等工作，另一方面，硬件上的目標(biāo)是我們的光刻實驗室達(dá)到使用狀態(tài)。”陳萬鵬表示。

在面板用光刻膠方面，晶瑞電材與日本三菱化學(xué)株式會社在蘇州設(shè)立了LCD用彩色光刻膠共同研究所，為三菱化學(xué)的彩色光刻膠在國內(nèi)的檢測以及中國國內(nèi)客戶評定檢測服務(wù)，并于2019年開始批量生產(chǎn)供應(yīng)顯示面板廠家。

光刻膠客戶驗證周期一般在6~24個月，但在陳萬鵬看來，產(chǎn)品配方通過客戶性能驗證只代表光刻膠能夠做出圖形，這只是萬里長征第一步；第二步是要具備放量能力，通過小試、中試，甚至需要十幾個批次都保持穩(wěn)定、一致，這時候才可能拿到訂單。“形成銷售收入才是能否生產(chǎn)光刻膠的硬指標(biāo)。”陳萬鵬表示，目前市場上只有晶瑞電材和彤程新材持股公司北京科華在半導(dǎo)體光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了規(guī)模化銷售收入。

2021年上半年，彤程新材電子化學(xué)品業(yè)務(wù)實現(xiàn)營收0.51億元，北京科華營收同比增長46.74%；晶瑞電材光刻膠及配套材料實現(xiàn)營收1.43億元，同比增長82.15%。

訂單方面，據(jù)陳萬鵬透露，2020年晶瑞電材光刻膠及配套材料訂單在1.8億元左右，今年上半年就已經(jīng)達(dá)到1.5億元左右，預(yù)計今年能夠?qū)崿F(xiàn)翻倍增長。

晶瑞電材董事長吳天舒對第一財經(jīng)表示，“我們光刻膠產(chǎn)能非常緊，正在積極組織擴(kuò)產(chǎn)階段。”

光刻膠按顯示的效果，可分為正性光刻膠和負(fù)性光刻膠。晶瑞電材公告顯示，公司擬建年產(chǎn)1200噸集成電路關(guān)鍵電子材料項目，項目建設(shè)內(nèi)容為光刻膠中間體1000噸/年，負(fù)性光刻膠1200噸/年。投資建設(shè)周期為自開工建設(shè)起1年。“該項目預(yù)計明年7~8月投產(chǎn)。這也是整個晶瑞盈利能力最強(qiáng)的單品。”陳萬鵬透露。

超高純化學(xué)品處于全球第一梯隊

陳萬鵬對第一財經(jīng)直言，光刻膠經(jīng)過市場炒作高頻率傳播，大家對此耳熟能詳，實際上高純試劑也是非常重要的半導(dǎo)體材料，缺哪一樣都會被“卡脖子”。

超凈高純試劑主要用于半導(dǎo)體等電子信息產(chǎn)品的清洗、蝕刻等工藝環(huán)節(jié)。不同線寬的集成電路制程工藝中必須使用不同規(guī)格的超凈高純試劑進(jìn)行蝕刻和清洗，且超凈高純試劑的純度和潔凈度對集成電路的成品率、電性能及可靠性均有十分重要的影響。

2021年半年報顯示，晶瑞電材在半導(dǎo)體材料方面布局的高純雙氧水、高純氨水及高純硫酸等產(chǎn)品品質(zhì)已達(dá)到或者可達(dá)到SEMI最高等級G5水準(zhǔn)，金屬雜質(zhì)含量均低于10ppt，半導(dǎo)體用量最大的三個高純濕化學(xué)品將整體達(dá)到國際先進(jìn)水平，可基本解決高純化學(xué)品這一大類芯片制造材料的本地化供應(yīng)。已投產(chǎn)主導(dǎo)產(chǎn)品獲得中芯國際、華虹宏力、長江存儲、合肥長鑫、士蘭微等國內(nèi)知名半導(dǎo)體客戶的采購。公司其他多種超凈高純試劑如BOE、硝酸、鹽酸、氫氟酸等產(chǎn)品品質(zhì)全面達(dá)到G3、G4等級，可滿足平板顯示、LED、光伏太陽能等行業(yè)客戶需求。

超凈高純雙氧水是提純技術(shù)難度最大的微電子化學(xué)品之一，是集成電路芯片制造領(lǐng)域用量最大、市場前景良好的“綠色化學(xué)品”，高端提純技術(shù)歷來被巴斯夫等國際大公司所壟斷。晶瑞電材自2001年開始高端雙氧水的研發(fā)和生產(chǎn)，自主開發(fā)了先進(jìn)的提純技術(shù)，并獲得了發(fā)明專利。超大規(guī)模集成電路用超凈高純雙氧水技術(shù)突破了國外技術(shù)壟斷，產(chǎn)品品質(zhì)可達(dá)到10ppt以下，滿足SEMI制定的最高純度等級，成功填補(bǔ)了國內(nèi)空白。

硫酸方面，晶瑞電材年產(chǎn)30萬噸高品質(zhì)工業(yè)硫酸，副產(chǎn)三氧化硫、蒸汽等副產(chǎn)品，上述產(chǎn)品為能源及基礎(chǔ)化工材料。隨著公司年產(chǎn)9萬噸超大規(guī)模集成電路用半導(dǎo)體級高純硫酸技改項目的實施，部分硫酸產(chǎn)能將由基礎(chǔ)化工行業(yè)類別轉(zhuǎn)化為超凈高純試劑行業(yè)類別。

“全國高純雙氧水、硫酸、氨水這三個占據(jù)整個IC制造70%耗能的高純濕化學(xué)品，晶瑞已經(jīng)實現(xiàn)全部覆蓋。”陳萬鵬表示，“去年雙氧水只賣了一萬多噸，硫酸甚至為0，氨水一共就4000噸的產(chǎn)能，賣得也很有限，但這些從今年開始能夠開始陸續(xù)貢獻(xiàn)營收了。”

陳萬鵬給第一財經(jīng)算了一筆賬，“雙氧水今年滿產(chǎn)；硫酸馬上再下6萬噸，明年開始9萬噸達(dá)產(chǎn)，至少得多賣個兩三萬噸，后年預(yù)計賣出6萬~7萬噸，按照9萬噸硫酸產(chǎn)銷率80%算，也有兩億元左右的凈利潤。”

客戶方面，目前晶瑞電材基本覆蓋主流客戶，電子硫酸已經(jīng)在多家主流客戶端進(jìn)行跨線，其中包括不少臺系芯片廠。

10月24日晚，晶瑞電材發(fā)布2021年三季報，2021年前三季度，公司實現(xiàn)營業(yè)收入13.09億元，同比增長83.31%；歸屬于上市公司股東的凈利潤1.65億元，同比增長167.80%。主要原因是光刻膠等材料產(chǎn)銷兩旺。

“半導(dǎo)體材料和新能源材料全在漲價。光刻膠漲價幅度約20%-50%，為應(yīng)對四季度產(chǎn)線大修，我們對7-9月份光刻膠的出貨量進(jìn)行了調(diào)控，影響了產(chǎn)能，光刻膠銷售收入環(huán)比增幅有所下降，但仍不改同比大幅增長的向好趨勢。”

陳萬鵬預(yù)計產(chǎn)銷兩旺的市場格局還能持續(xù)三年。“一方面，IC新建產(chǎn)能逐步釋放，將帶動半導(dǎo)體材料需求增長，另一方面，目前光刻膠國產(chǎn)替代率不足10%，未來還有廣闊的國產(chǎn)替代空間。”

研發(fā)方面，晶瑞電材2020年研發(fā)費用占營收3.31%，2021年半年報這一數(shù)字為2.26%，與同行相比偏低。陳萬鵬解釋稱，“首先，晶瑞很多年前就開始做光刻膠了，現(xiàn)在的技術(shù)都是以前多年研發(fā)投入積累下來的；其次，我們接下來要做的ArF光刻膠單就研發(fā)階段就準(zhǔn)備投入4個億，三年做完，這一個項目一年也有一個多億的研發(fā)投入。相信很快，大家會看到這方面顯著的變化。”