傳ASML DUV光刻機交付受阻，中芯國際后續擴產計劃將受影響

據臺灣經濟日報報道，大陸晶圓代工龍頭大廠中芯國際雖然計劃在深圳、上海等地進行擴產，但是今年3月中芯國際與荷蘭光刻機大廠ASML（艾司摩爾）簽約購買用于成熟制程所需的深紫外光（DUV）光刻機設備訂單至今仍沒有下文，隨著最后期限的臨近，恐怕這筆訂單將要跳票，使得中芯國際計劃2023年陸續開出的新產能也變得岌岌可危。

去年9月底，中芯國際就遭美國進行出口管制，隨后又于2020年12月遭美國商務部列入實體清單，并明確禁止美國設備廠商向中芯國際出口可用于10nm以下先進制程的設備，導致中芯國際采購美國半導體設備受限，同時部分基于美國技術的非美系半導體設備供應似乎也受到了進一步限制。

今年3月1日，業內傳出消息稱，中芯國際已獲得部分美國設備廠商供應14nm及以上成熟制程設備的供應許可，并且中芯國際之前一直有申請但未獲通過的一類關鍵設備（用于14nm），此次也獲得了通過。

隨后在今年3月3日晚間，中芯國際通過港交所發布公告，宣布公司已于2021年2月1日，就購買用于生產晶圓的ASML產品與ASML上海公司簽訂了經修訂和重述的采購協議，根據購買的ASML產品定價計算，該協議購買ASML產品的總代價約為12億美元。

根據該協議，中芯國際將先行向ASML支持30%的預付款，余款將于產品交付時支付。從采購金額來看，12億美金夠買幾十臺先進的DUV光刻機，即便是當時最貴的超過1億美金一臺的EUV光刻機，也能買個10臺。當時外界有網友也以為該采購的是包括產先進制程芯片的EUV光刻機。不過中芯國際隨后澄清，這批訂單僅為DUV光刻機。

根據公告顯示，ASML批量采購協議的期限從原來的2018年1月1日至2020年12月31日延長至從2018年1月1日至2021年12月31日。并且，中芯國際根據批量采購協議已于2020年3月16日至2021年3月2日的12個月期間就購買用于生產晶圓的ASML產品與ASML集團簽訂購買單。

然而，就在中芯國際宣布與ASML達成批量設備采購延長協議之后，當地時間3月19日，美國共和黨眾議員麥考爾（Michael McCaul）和魯比奧（Marco Rubio）聯合致信美國商務部長雷蒙多（Gina Raimondo）稱，基于中芯國際協助中國大陸追求“取代美國在全球的領先地位”方面發揮的作用，為保護美國的國家安全利益，要求拜登政府勸說荷蘭政府阻止ASML出售DUV光刻機賣給中芯國際，并且還須與盟國達成協議，統一出口限制和許可權，限制類似DUV和EUV光刻等技術設備的出售。

根據臺灣經濟日報近日的報道，目前中芯國際根據該訂單向ASML購買的DUV光刻機仍未交貨，而隨著該采購協議最后期限2021年12月31日的臨近，恐怕這筆訂單將要跳票，從而危及中芯國際的擴產計劃。

去年12月，中芯國際宣布攜手大基金二期和亦莊國投訂立合資合同以共同成立合資企業——中芯京城集成電路制造（北京）有限公司（以下簡稱“中芯京城”），計劃總投資497億元，建設一座12吋晶圓廠，聚焦28nm及以上成熟制程工藝。將分兩期建設，一期項目建設規模約24萬平方米，包含 FAB3P1 生產廠房及配套建筑、構筑物等，計劃于2024年完工，建成后將達成每月約10萬片12英寸晶圓產能。二期項目將根據客戶及市場需求適時啟動。目前，中芯京城一期項目正在建設中，已于今年2月底完成打樁，預計2024年完工。

今年3月17日，中芯國際又宣布在深圳擴產成熟制程，將與深圳政府（透過深圳重投集團）（其中包括）擬以建議出資的方式經由中芯深圳進行項目發展和營運。依照計劃，項目的新投資額估計為23.5億美元，中芯國際將通過子公司中芯深圳開展新項目的發展和營運，重點生產28nm及以上的集成電路和提供技術服務，旨在實現最終每月約40000片12吋晶圓的產能。預期將于2022年開始生產。

今年9月3日，中芯國際又發布公告，宣布已與中國（上海）自由貿易試驗區臨港新片區管理委員會（以下簡稱臨港管委會）簽署合作框架協議，將在上海臨港自由貿易試驗區（以下簡稱“臨港自貿區”）共同成立合資公司，投資88.7億美元興建一座月產能10萬片的12吋晶圓廠，主要聚焦于提供28nm及以上技術節點的集成電路晶圓代工與技術服務。

以上三個擴產項目，擴產總產能高達每月24萬片12吋晶圓。雖然目前這些擴產項目還處于進行基建，或還在規劃當中，但是要順利按時按規劃產能量產，就需要采購足夠多的半導體設備，并按規劃時間進行交付和安裝。

如果晶圓制造的關鍵設備——ASML的DUV光刻機的交付受限，無疑將嚴重影響中芯國際的擴產計劃。

值得注意的是，據澎湃新聞報道，在近日召開的第四屆中國國際進口博覽會上，ASML全球副總裁、中國區總裁沈波表示，目前ASML EUV光刻機確實無法對中國（大陸）客戶供貨外。

早在2018年5月，中芯國際就向ASML訂購了一臺最新型的EUV光刻機，當時價值高達1.5億美元，原計劃在2019年初交付。但是由于美國方面的阻撓，ASML一直未能收到荷蘭政府頒發新的許可證，這也導致了ASML一直無法向中芯國際交付EUV光刻機。

沈波表示，公司對向中國出口集成電路光刻機持開放態度，在法律法規框架下全力支持。除了EUV光刻機之外，其他產品都可以正常向中國（大陸）客戶發貨。從最近幾年看中國市場占ASML全球光刻機銷量的三成左右，在中國的裝機量已經接近1000臺。

不過，沈波并未透露目前ASML的DUV光刻機對中芯國際的交付是否會受到美國禁令或美國政府施壓的影響。

另據沈波介紹，由于缺芯導致的這一輪晶圓制造擴產周期對ASML光刻機交貨有所影響，有的產品交付期較以往翻倍。目前ASML已經在擴大產能，并運用公司的安全庫存提升交貨，但由于產業鏈太長，因為幾千家供應商要配套提供85%的零部件，所以暫時還沒有辦法完全滿足用戶需求。

目前還不清楚臺灣媒體報道的中芯國際向ASML訂購DUV光刻機訂單至今仍未交付的消息是否屬實。即使該消息屬實，那么到底是因為美國禁令或者是美國政府的阻撓導致的，還是因為ASML的DUV光刻機交期延誤造成的，也有待進一步確認。

但不管怎么樣，如果中芯國際訂購的DUV光刻機真的遲遲無法交付的話，那么必然會對其后續的大規模擴產計劃造成嚴重不利影響。