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晶瑞電材又購得光刻機 KrF光刻膠量產導入已排上日程

2021-12-09 來源:網絡整理
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關鍵詞: 晶瑞電材 光刻機 KrF光刻膠

12月8日,晶瑞電材對外披露,公司近期已購得KrF光刻機一臺,可用于KrF光刻膠的曝光測試,同時公司KrF光刻膠量產化生產線正在積極建設中。此前,晶瑞電材已經購得用于負膠、g線、i線、ArF等4臺光刻機,再加之此次購得的KrF光刻機,晶瑞電材已經到位5臺光刻機。

目前,晶瑞電材KrF光刻膠已經完成中試,進入了客戶測試驗證階段。這意味著,此次晶瑞電材新購得深紫外線KrF光刻機后,可以快速投建其KrF光刻膠產線,加速其KrF光刻膠量產化進程,也是其KrF光刻膠量產并導入晶圓廠的最后一步。



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